洁净棚可采用工业铝材（或不锈钢方管、铁方管喷塑）作为框架，风机滤网机组（ FFU ）送风，四周悬挂防静电垂帘（或钢化玻璃），也可以采用彩钢板结构，其内部净化级别可达到 100-10000 级。适用于洁净车间内局部净化级别要求高的区域。
特点：
单 向 流（ 1—100 级）洁 净 室 1—100 级的洁净室，均采用单向流的气流组织送风方式，即洁净室内的气流在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使洁净室气象 “ 活塞 ” 一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。 要实现 “ 活塞 ” 的效果，高效过滤器需要满布屋顶才可以实现单向流的气流组织方向。 非 单 向 流（ 1000—10 万级）洁 净 室 1000—10 万级洁净室的气流组织方向和 100 级以上的洁净室不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。 不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来表现的。
洁净度
洁净区域尺寸（ feet ）
所用 FFU 数目
风量（ m3/h ）
10/100 级
4x4x7
2
2300
4x8x7
4
4600
6x8x7
6
6900
6x12x7
9
10350
6x16x7
12
13800
6x20x7
15
17250
8x8x7
8
9200
8x10x7
10
11500
8x12x7
8x16x7
16
18400
8x20x7
20
23000
10x12x7
12x12x7
18
20700
1000 级
3
3450
12x16x7
5
5750
12x20x7
10000 级
1
1150
