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洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
等数 ISO 空气洁净
大于或等于表中粒径的最大浓度限值( P/m - 空气)
洁净等级美国联邦 209E
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
4
ISO Class3
1000
237
102
35
8
1
ISO Class4
10000
2370
1020
352
83
ISO Class5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO Class6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO Class7
352000
83200
2930
ISO Class8
3520000
832000
29300
ISO Class9
35200000
8320000
293000
300000